蔚華科技還將幫助ALES加快研發(fā)和推出氣場(chǎng)離子源聚焦離子束(GFIS-FIB)設(shè)備。這是先進(jìn)半導(dǎo)體工藝中，用于進(jìn)行故障分析檢測(cè)和電路修復(fù)的關(guān)鍵技術(shù)。
埃爾思董事長張維哲博士表示，公司的核心成員來自中國臺(tái)灣中央研究院物理研究所的一個(gè)團(tuán)隊(duì)。他們的主要工作是利用自己的專利生產(chǎn)單原子探針，這能夠以極高的電流密度和極小的光源實(shí)現(xiàn)各種惰性氣體離子的發(fā)射。
埃爾思的目標(biāo)是構(gòu)建其單原子探針技術(shù)，以便能夠在極小規(guī)模的FIB設(shè)備上進(jìn)行晶圓缺陷檢測(cè)和IC電路修復(fù)，這通常被認(rèn)為是填補(bǔ)10nm一下制程半導(dǎo)體工藝在線質(zhì)量檢測(cè)技術(shù)空白的最佳方法，此外也是快速驗(yàn)證新集成電路設(shè)計(jì)架構(gòu)正確性的最佳方法。
通過蔚華科技的資源支持和資金投入，埃爾思GFIS-FIB的研發(fā)可落地時(shí)間可以縮短，以便盡快在市場(chǎng)上推廣。
近年來，蔚華科技開始對(duì)其組織業(yè)務(wù)進(jìn)行重大重組，從2020年第三季度到2023年第一季度，公司核心業(yè)務(wù)出現(xiàn)虧損。2022年，該公司先后出售了上海的子公司Maximo、合肥的蔚思博檢測(cè)技術(shù)有限公司，此外退出快速消費(fèi)品和集成電路驗(yàn)證領(lǐng)域。公司將專注于設(shè)備分銷和自產(chǎn)業(yè)務(wù)。
蔚華科技在2022年第三季度后實(shí)現(xiàn)盈利，2023年第一季度實(shí)現(xiàn)稅后利潤1.03億元新臺(tái)幣。該公司上半年業(yè)務(wù)縮減，合并營收僅為7.23億元新臺(tái)幣，同比減少20%。
